快速退火爐是一個簡單穩(wěn)定的熱處理系統(tǒng)，采用進口紅外線加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動，可實現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM，可以直接放下5英寸的材料。試樣反應區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時，也大大降低了間接污染試樣的可能性。
主要功能和特點：
1、可視化7寸觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面，操作方便；
2、爐體配備高精度移動平臺，運行平穩(wěn)無抖動；
3、爐管可自由移動，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；當爐管移出爐膛時冷確風扇啟動，可實現(xiàn)試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實驗要求；
4、爐膛采用進口多晶纖維真空吸附制成，采用進口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達5000小時，升溫速度快，最高溫度可達1050℃。
5、預留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用；
6、預留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過我司專用軟件，與計算機互聯(lián)，可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能；
7、設(shè)置超溫報警并斷電，漏電保護，操作安全可靠。
快速退火爐應用領(lǐng)域：
1、離子注入/接觸退火；
2、快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；
3、可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用；
4、SiAu,SiAl,SiMo合金化；
5、低介電材料；
6、晶體化，致密化；
7、太陽能電池片鍵合。
時間：2022-05-23
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