真空燒結(jié)爐設計構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，用于半導體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導體設備系列中一種新穎的工藝裝備，主要是在真空或者是保護氣氛的條件下，通過利用中頻感應加熱的原理，讓硬質(zhì)的合金刀頭以及各種金屬粉末壓制體實現(xiàn)燒結(jié)的一個成套設備，是專門為硬質(zhì)合金、陶瓷材料以及金屬的工業(yè)生產(chǎn)而設計的，它是在真空環(huán)境里面對被加熱物體進行保護性燒結(jié)的爐子。

　　主要優(yōu)點：

　　1.減少了氣氛中有害成分(水、氧、氮)對產(chǎn)品的不良影響。例如要使電解氫氣中含水量降至一4?！娴穆饵c是相當困難的，而真空度只要達到133Pa就相當于含水量為一4。℃的露點。而獲得這樣的真空度是并不困難的。

　　2.對于不宜用還原性或惰性氣體作保護氣氛(如活性金屬的燒結(jié))，或容易出現(xiàn)脫碳、滲碳的材料均可用真空燒結(jié)。

　　3.真空可改善液相對固相的潤濕性，有利于收縮和改善合金的組織。

　　4真空燒結(jié)有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質(zhì)或其氧化物的排除，起到凈化材料的作用。

　　5.真空有利于排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應氣體產(chǎn)物，對促進燒結(jié)后期的收縮有明顯作用。如真空燒結(jié)的硬質(zhì)合金的孔隙度要明顯低于在氫氣中燒結(jié)的硬質(zhì)合金。

　　6.真空燒結(jié)溫度比氣體保護燒結(jié)的溫度要低一些，如燒結(jié)硬質(zhì)合金時燒結(jié)溫度可降低10。~150℃。這有利于降低能耗和防止晶粒長大。

　　

　　真空燒結(jié)爐的安全操作規(guī)程：

　　1.中頻電源、真空爐爐體、感應圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿，水中不得有雜質(zhì)。

　　2.開動水泵，使其中頻電源，真空爐感應圈、爐體冷卻系統(tǒng)水循環(huán)正常，并調(diào)整水壓控制在規(guī)定值。

　　3.檢查真空泵電源系統(tǒng)，皮帶盤皮帶松緊，真空泵油是否位于油封觀察孔中線。檢查妥后，人工轉(zhuǎn)動真空泵皮帶盤，如無異常，可在關閉蝶閥的情況下，啟動真空泵。

　　4.檢查真空爐體內(nèi)情況，要求真空爐體內(nèi)一級衛(wèi)生，感應圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。

　　5.檢查真空爐體的杠桿手把啟動是否靈活。

　　6.檢查轉(zhuǎn)動式麥氏真空計是否合乎要求。

　　7.檢查石墨坩堝，裝爐配件是否齊全。

　　8.在以上準備就緒后，接通電源，中頻電源合閘，按中頻啟動規(guī)則，試啟動變頻，成功后停止變頻，方可開爐。

　　9.真空爐體上蓋的觀察、測溫孔，每次開爐均需清潔處理，以便觀察和測溫。

　　10.裝爐時應根據(jù)不同燒結(jié)產(chǎn)品，采取相應裝爐方式。按有關材質(zhì)裝爐規(guī)則裝盤，不得隨意更改。

　　11.為了保持恒溫，防止熱輻射，發(fā)熱坩堝上加二層碳纖維，再罩上隔熱屏。

　　12.墊好真空密封膠帶。

　　13.操作杠桿手把，轉(zhuǎn)動真空爐頂蓋與爐體密切重合，放下頂蓋，并鎖好固定螺母。

　　14.徐徐打開蝶閥，抽爐體空氣，至真空度達到規(guī)定值。

　　15.在真空度達到規(guī)定要求后，開始啟動變頻，調(diào)整中頻功率，按有關材質(zhì)的燒結(jié)規(guī)定操作;升溫、保溫冷卻。

　　16.燒結(jié)完畢后，停止變頻，按停止變頻開關，逆變停止工作，斷開中頻電源分閘與斷開電源總閘。

　　17.從爐體觀察孔觀察爐膛發(fā)黑后，先關閉真空泵蝶閥與斷開真空泵電流，再接自來水繼續(xù)冷卻感應圈和爐體，再停水泵。

　　18.中頻電壓750伏有觸電危險。在整個操作和檢查過程中，要注意操作安全，不要用手接觸中頻電柜。

　　19.在燒結(jié)過程中，隨時從爐體側(cè)面觀察孔觀察感應圈是否發(fā)生放弧現(xiàn)象，如發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象，應立即報告有關人員處理。

　　20.啟動真空蝶閥應緩慢，否則會因抽氣過急而冒油，帶來不良后果。

　　21.正確使用轉(zhuǎn)動式麥氏真空計，否則會造成真空讀數(shù)誤差或因操作過急而使水銀溢出造成公害。

　　22.注意真空泵皮帶盤安全運行。

　　23.在墊真空密封膠帶，蓋爐體頂蓋時，注意防止壓手。

　　24.凡在真空條件下，容易揮發(fā)影響真空衛(wèi)生，造成管道堵塞、真空泵臟化的工件或容器，不得入爐。

　　25.凡產(chǎn)品加有成型劑(如油或石蠟)，必須脫掉方可入爐燒結(jié)，否則會造成不良后果。

　　26.全部燒結(jié)過程中，要注意水表壓力范圍和冷卻水循環(huán)，以免發(fā)生事故。